陕西氢氟酸常用的提纯技术有精馏，蒸馏，亚沸蒸馏，气体吸收等相关技术，这些提纯技术也是各有特性，各有所长，一些提纯技术比如亚沸蒸馏技术仅仅可以使用制备量比较少的产品，但是一些提纯技术比如气体吸收技术是可以使用在大规模的生产使用。

因此，选择工艺技术路线时应视实际情况而定。另外，由于陕西氢氟酸具有强腐蚀性，采用蒸馏工艺时所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。

高纯陕西氢氟酸生产装置流程布置要以垂直流向为主，原料无水氢氟酸和高纯水在上层，氢氟酸的提纯在中层，过滤、包装及储存在底层。因为原料（无水氢氟酸和高纯水）与中间产物可以依靠重力自上而下流动，避免用泵输送，节省能耗，降低生产成本。下面介绍一种精馏、吸收相结合的生产高纯氢氟酸的生产工艺。

把污水氢氟酸经过化学预处理之后通过给料泵然后进入高位槽，再者通过流量计控制进入到蒸馏塔内部，通过精馏的操作得到精制之后的氟化氢气体，并且将其送到吸收塔，精馏塔的残液定期的排放加工制成的陕西工业氢氟酸，在吸收塔内部，通过加入计量之后的高纯水，使得精馏之后的氟化氢气形成氢氟酸，并且可以采用控制喷淋的密度，气液比等方法使使得氢氟酸可以进一步的纯化，得到粗产品，随后经过干净过滤工序这样使得产品进一步的混合得到过滤，保证产品的颗粒合格，然后在净化室内进行包装从而得到产品。