1、将浮选厂烘干的萤石粉送往到萤石贮仓，通过尘气体经过旋风分离器，袋式除尘器排空，萤石贮仓的萤石粉计量，使用调速螺旋送到回转反应炉；

2、将陕西氢氟酸和被硫酸吸收塔吸收了尾气当中HF的硫酸送到混酸槽，在此和自洗涤塔的稀酸混合；

3、混酸进入回转反应炉；回转反应炉用烟道气经夹套间接加热来满足反应所需的热量。炉尾排出的炉渣用消石灰中和过量酸后经炉渣提升机送至炉渣贮斗；

4、反应的产物气体首先-进入除尘器、洗涤塔除尘、冷却，而后依次进入初冷器、HF一级凝器和HF二级冷凝器；

5、在初冷器得到的冷凝液返回洗涤塔；在HF冷凝器得到的冷凝液经过粗HF贮槽进入精馏塔除去H2SO4、H2O等重组分；

6、.精馏塔釜液返回洗涤塔；塔顶馏出液进入脱气塔脱除SO2、SiF4等轻组分。脱气塔釜液为产品；

7、HF二级冷凝器的未凝气和脱气塔塔顶排出的未凝气一起进入硫酸吸收塔，在此用硫酸吸收其中大部分HF，然后依次进入一、二水洗塔，生成陕西氟硅酸；

8、没有被吸收的气体进入尾气塔，洗掉其中大部分的酸性气体之后，没有被吸收的气体排空，尾气塔的洗涤液以及地面冲洗酸性水送到废液处理装置，处理之后的合格污水再排入排水系统。

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