精馏，将工业无水氟化氢液体通入精馏釜，用氮气置换精馏釜中的空气，控制精馏釜内压力≤０．１Ｍｐａ，加入高锰酸钾，高锰酸钾的加量占工业无水氟化氢加量的０.６－１重量％，搅拌１０分钟±５分钟，静止２０分钟±５分钟，使工业无水氟化氢中含有的大量的二氧化硫和三氟化砷生成难以挥发的化合物；然后加入３０重量％的过氧化氢，过氧化氢占工业无水氟化氢加量的０．５－５重量％，搅拌１０分钟±５分钟，静止２０分钟±５分钟；升温至６０－８０℃，氟化氢液体气化生成纯化的氟化氢气体。

冷却过滤，将出精馏釜的纯化的氟化氢气体通入冷却器进行冷却并过滤，冷却器底部布满聚四氟乙稀填料，对氟化氢气体进行过滤，通过降温把已经纯化后的氟化氢气体转换成气液相临界状态，使其中还存有的少量杂质进行分离，杂质部分回流至精馏釜，经冷却过滤得再次纯化的氟化氢气体进入吸收塔。
吸收塔内注入去离子水，吸收塔底部设置布气盘管，将出冷却器的氟化氢气体通入吸收塔底部的布气盘管，由布气盘管管壁上的布气孔释放出来后再由去离子水吸收制成陕西氢氟酸半成品。过滤，出吸收塔的陕西氢氟酸半成品通入０.０５－０.２μｍ的过滤器过滤后得到超高纯陕西氢氟酸成品。