现如今，国内外制备的高纯陕西氢氟酸经常用提纯技术：蒸馏，精馏，亚沸蒸馏，气体吸收等技术，这样的提纯技术是各有各的特点，各有所长。

一些提纯技术比如亚沸蒸馏技术只是用于制备量比较少的产品。但是一些提纯技术比如气体吸收技术是可以使用在大规模的生产。因此选择工艺技术路线的时候要按照实际的情况来定。

另外，由于陕西氢氟酸具有强腐蚀性，采用蒸馏工艺时所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。

高纯陕西氢氟酸生产装置流程布置要以垂直流向为主，原料无水氢氟酸和高纯水在上层，氢氟酸的提纯在中层，过滤、包装及储存在底层。因为原料（无水氢氟酸和高纯水）与中间产物可以依靠重力自上而下流动，避免用泵输送，节省能耗，降低生产成本。下面介绍一种精馏、吸收相结合的生产高纯氢氟酸的生产工艺。

将无水氢氟酸经过化学预处理后通过给料泵进入高位槽，再通过流量计控制进入精馏塔，通过精馏操作得到精制后的氟化氢气体，并将其送入吸收塔，精馏塔残液定期排放并制成陕西工业级氢氟酸。

在吸收塔内部，通过加入经过计量之后的高纯水，是的精馏之后的氟化氢气所形成的高淳氢氟酸，并且是可以采用控制喷淋的密度，气液比等方法使得高氢氟酸进一步的纯化，因此得到粗产品，之后经过洁净过滤工序，使得产品进一步的混合以及得到的过滤，也可以保证产品的颗粒合格。